plasmaunterstützte chemische Dampfabscheidung

plasmaunterstützte chemische Dampfabscheidung
Dampfabscheidung f: plasmaunterstützte chemische Dampfabscheidung f ME plasma enhanced chemical vapour deposition, PECVD

Deutsch-Englisch Wörterbuch der Elektrotechnik und Elektronik. 2013.

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